機能に特化し使いやすさを追求した3次元アトムプローブ分析装置 EIKOS-UV


EIKOS-UV 機能に特化して使いやすさを追求した3次元アトムプローブ

EIKOS UV

概要

EIKOS-UVは、機能に特化し、使いやすさを追求した3次元アトムプローブです。サブnmの空間分解能で元素を3次元マッピングすることにより元素分布を3次元で解析することができます。
3次元アトムプローブは針状の試料に強い電界を印加させることにより試料最表面の原子を1つ1つイオン化脱離する電界蒸発を利用しています。
EIKOS シリーズには、金属材料などの導電性材料の分析に特化した電圧パルス型EIKOSと半導体や絶縁物の測定にも対応する紫外光(355nm)レーザパルスモード搭載型EIKOS-UVがあります。

装置の特長

特徴1

装置の簡素化

ご好評頂いている高性能3次元アトムプローブLEAP5000に対し、EIKOS-UVでは、試料電極、クライオステージ、並びに可視光レーザユニット(EIKOS-Xのみ)を簡素化することで装置本体価格、並びにランニングコストを抑えた装置となっております。

特徴2

3次元データ解析

従来の装置から改良されたディレイライン検出器により原子の3次元位置情報(X,Y,Z)を最大で37%の検出効率で取得すると同時に飛行時間型質量分析により検出したイオンを同定します。LEAPで得られたデータは、深さプロファイルなどの1次元解析、及び材料中の析出物・クラスターの濃度分布や密度、内部界面の面粗さなど2次元・3次元の解析を可能にします。

特徴2

・3次元アトムプローブによりnmスケールの微細構造が評価できます。
・原子の高い検出効率と高い空間分解能を並立しています。
・原子は元素あるいは同位体に依らずイオン化するため、マトリックス効果等の元素間の感度差がなく、元素の定量が容易です。
・元素組成の定量分析が可能です(サブnmからサブμmに至るの幅広いレンジ)
・電圧パルスモードとレーザパルスモードの両方で利用可能です。
・試料の前処理方法は確立されております

アトムプローブ EIKOS-UVの仕様

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