実績のあるIMS 7fの特徴そのままで、自動分析能力を改善し、分析効率を高めるために開発されたSIMSです。新たに開発したモータ駆動ストレージチャンバーと試料搬送機構により、最高のスループット、再現性で、完全自動測定が可能となりました。

IMS 7fをベースにIMS 1280-HRの技術を取り入れた、コンパクトな地質学・地球科学用SIMSです。高精度かつ高い処理能力で安定同位体、希土類元素、微量元素を分析することができます。

高感度・高質量分解能を実現した巨大なSIMSです。マルチコレクター・システムなどを有し、地球科学に関連した広範囲なアプリケーションにおいて類い希な性能を発揮します。

カメカ独自のイオンガン／2次イオン引き出しの同軸レンズによりDCビームで50nm以下の空間分解能を有するSIMSです。高質量分解能、7マス同時検出等々、の特長があります。

EXLIE（Extremely Low Impact Energy）を利用して先端CMOS半導体のR&D、あるいは、ニアラインでの評価にご利用できます。IMS Wfは、300mmウエハに対応しています。

質量分析計に四重極マスフィルターを利用したSIMSです。引出し電界が小さく、試料周りの自由度があり、1次イオンの入射角度が可変できます。さらに、FLIG™ ( Floating Low-energy Ion Gun)技術により、深さ分解能の良い分析が可能です。