第5世代の電子線マイクロアナライザ（EPMA）です。定評のある従来機の特徴をすべて備えており、LEXES の開発を通して得られた新技術が盛り込まれています。SXFiveFEは、高分解能タイプで、電界放出型電子銃を搭載しています。
放射性物質は電子線を照射しなくてもX線を放出するため、通常の電子線マイクロアナライザー(EPMA)では測定バックグラウンドへの 影響によりデータの質の悪化の原因となります。SKAPHIAは放射性物質から放出されるX線を遮蔽するタイプの電子線マイクロアナライザー(EPMA)であるため、 放射性物質の高精度な測定が可能となります。
