アトムプローブ LEAP 6000 XR


LEAP 6000 XR  3次元アトムプローブ、各種材料分析向け

視野拡大を実現した3次元アトムプローブ

概要

Invizo 6000のキーテクノロジーは、新開発のカウンター電極にあります。従来では困難であった広視野のイオン光学を実現すると共に、試料尖端の両側にレーザパルス照射が可能となり、従来の装置ではできなかった分析能力を可能としています。 Invizo 6000は、3次元アトムプローブでは最大の測定視野と、新型2段静電レンズの導入による高い質量分解能(MRP)維持を並立することに成功しました。また257.5nmの深紫外(DUV)レーザーモジュールを搭載、データの質の向上を劇的に向上させることができます。

装置の特長

特徴1

測定条件の自由度が拡大、検出率を下げることによりデータの質と測定歩留まりの両方が向上。

特徴2

より均一に熱を与えられる深紫外線を試料尖端の両側から照射、3次元データ再構成の精度が改善。

特徴3

試料中の原子をより広領域、そしてより短時間で取得。


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