NanoSIMS 50L

NanoSIMS 50L 高分解能イオン顕微鏡

概要

NanoSIMS 50Lは、カメカ独自のイオン光学設計により50nm以下の空間分解能かつ高感度で2次イオン像観察が可能なSIMS装置です。材料科学、地質学、宇宙化学、環境微生物学、あるいは、細胞生物学等の分野に利用されています。

装置の特長

特徴1

50nm以下の最小ビーム径

カメカ独自のイオンガン/2次イオン引き出しの同軸レンズにより1次イオンを50nm以下まで絞り込むことができます。

特徴2

サブミクロン領域での微量不純物分析

大型マグネットを備えた2重収束セクタ磁場質量分析計により高感度、高質量分解能を実現しています。これにより、数十ppmの再現性で同位体比の測定を行うこともできます。

特徴3

7マス同時検出

2次イオンの偏向マグネット内に7つの独立した可動式検出器を備えており、同時に7種類の2次イオンの検出ができます。これに加えて連続1次イオンビームが利用できるので高速検出が可能です。

仕様

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