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製品情報

カメカ製品

カメカ事業部の代表的な製品のご案内です。

SIMS(二次イオン質量分析装置)

IMS 7f-Auto

実績のあるIMS 7fの特徴そのままで、自動分析能力を改善し、分析効率を高めるために開発された装置です。新たに開発したモータ駆動ストレージチャンバーと試料搬送機構により、最高のスループット、再現性で、完全自動測定が可能となりました。

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IMS Wf/SC Ultra

EXLIE(Extremely Low Impact Energy)を利用して先端CMOS半導体のR&D、あるいは、ニアラインでの評価にご利用できます。IMS Wfは、300mmウエハに対応しています。

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IMS 1280-HR

高感度・高質量分解能を実現した巨大な装置です。マルチコレクター・システムなどを有し、地球科学に関連した広範囲なアプリケーションにおいて類い希な性能を発揮します。

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NanoSIMS 50L

カメカ独自のイオンガン/2次イオン引き出しの同軸レンズによりDCビームで50nm以下の空間分解能を有する装置です。高質量分解能、7マス同時検出等々、の特長があります。

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IMS 7f-GEO

IMS 7fをベースにIMS 1280-HRの技術を取り入れた、コンパクトな地質学・地球科学用装置です。高精度かつ高い処理能力で安定同位体、希土類元素、微量元素を分析することができます。

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SIMS 4550

質量分析計に四重極マスフィルターを利用した装置です。引出し電界が小さく、試料周りの自由度があり、1次イオンの入射角度が可変できます。さらに、FLIG™ ( Floating Low-energy Ion Gun)技術により、深さ分解能の良い分析が可能です。

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IMS 7f

半導体、その他材料の分析に幅広く使える汎用セクター磁場型SIMS装置です。深さ方向プロファイル、イオン像観察、同位体分析など幅広い応用ができます。

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APT(アトムプローブトモグラフィー)

LEAP HR/LEAP Si

3次元イメージング質量分析装置です。ほぼ原子分解能で試料中の元素分布を定量的に捉えることができます。高質量分解能タイプです。

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eikos

3次元イメージング質量分析装置です。ほぼ原子分解能で試料中の元素分布を定量的に捉えることができます。高速タイプの機種です。

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EPMA(電子線マイクロアナライザー)

SXFive/SXFiveFE

第5世代の電子線マイクロアナライザ(EPMA)です。定評のある従来機の特徴をすべて備えており、LEXES の開発を通して得られた新技術が盛り込まれています。SXFiveFEは、高分解能タイプで、電界放出型電子銃を搭載しています。

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LEXES(低エネルギー電子線励起X線分光法)

EX-300

LEXES(Low energy Electron induced X-ray Emission Spectroscopy)の表面分析技術をベースにした装置で、半導体製造ラインにおける計測や薄膜製造のR&Dにおいて幅広く使用されています。

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ニューインスツルメンツ社製品

ニューインスツルメンツ社の代表的な製品のご案内です。

GD-MS(グロー放電質量分析計)

Astrum

Astrum

導体・半導体の固体試料中の、75以上の元素を主成分から超微量成分まで一斉分析します。標準物質が無くても定量的な分析値が得られ、薄膜分析や深さ方向分析、絶縁性試料への応用も可能です。

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HR-ICP-MS(高分解能ICP質量分析計)

attom ES

Attom ES

超高感度の元素定量分析だけでなく、高精度同位体比測定にも適用できる高分解能ICP質量分析計です。複雑なマトリクス試料中でも干渉イオンと目的イオンを質量分離して正確な定量値を提供します。

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MC-ICP-MS(マルチコレクター型ICP質量分析計)

plasma 3

plasma 3

高精度の同位体比測定を実現する第3世代のマルチコレクター型ICP質量分析計です。 複数の検出器を物理的に移動せずに、全元素の同位体の測定に対応します。

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Nu plasma 1700

Nu plasma 1700

高質量分解能(>5,000)でフラットトップピークが得られ、同位体比測定が可能な、最高性能のマルチコレクター型ICP質量分析計です。

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SIRMS(安定同位体質量分析計)

perspective

perspective

極微量のサンプルで高精度同位体比測定を実現する安定同位体質量分析計です。C,N,O,S,H の安定同位体比測定、または、二重置換同位体(clumped isotopes)比の測定が可能です。

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Horizon

Horizon

使いやすいソフトウェアと、コンパクトで高性能なハードウェアをもつ、次世代の安定同位体質量分析計です。

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Panorama

Panorama

既存の安定同位体分析計の性能をはるかに凌ぐ、高感度・超高分解能マルチコレクター質量分析計です。
質量数18の全メタンのピークを分離して、13CH3D および12CH2D2 のサブパーミルの測定に世界初で成功しました。

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NG-MS(希ガス質量分析計)

Noblesse HR

Noblesse HR

高感度、高精度でかつ拡張性の高い希ガス用同位体質量分析計です。希ガスの同重体に対するほとんどの干渉イオンを分離可能です。

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TIMS(表面電離型質量分析計)

Nu TIMS

Nu TIMS

当社のマルチコレクター質量分析計の技術を用いて開発した、高性能で使いやすい表面電離型質量分析計です。

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