IMS Wf/SC Ultra

IMS Wf/SC Ultra 半導体用ウエハサイズ対応超低エネルギーSIMS

IMS Wf/SC Ultra

概要

IMS Wfは、半導体ファブ内で利用される計量装置として開発されたもので、極浅領域の深さ分析に最適化されています。

カメカ社のセクター磁場質料分析計の超高感度という特徴を犠牲にすることなく、超低エネルギーイオン照射によるスパッタ分析可能な専用装置です。SC-Ultraは、研究室用装置として基本性能をそのままにWfをコンパクトにしたものです。

装置の特長

特徴1

超低エネルギーイオン照射

EXLIE(Extremely Low Impact Energy)を利用した極淺領域の分析が可能です。O2+、Cs+イオンともに150eV以下のイオン照射が可能です。先端CMOSの極淺接合、ゲート絶縁膜の評価に利用できます。

特徴2

セクター磁場質量分析計

IMS 7f-Autoと同等の質量分析計を持ち、高感度、広ダイナミックレンジでの分析が可能で、さらに、高質量分解能モードに対応しています。7f同様に投影モード(イオン顕微鏡)、走査イオンモードが利用できます。

特徴3

300mmウエハに対応

IMS Wfでは、300mmウエハ全領域の分析が可能で、パターン認識もできます。さらに、300mm FOUP、あるいは、200mm SMIFを搭載可能で、リモートコントロールによる操作も可能です。IMS Wfは、半導体ファブ内で計量装置として利用されています。

仕様

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