IMS 7f-Auto

IMS 7f-Auto 完全自動分析、高スループットのための新型ダイナミックSIMS装置

概要

IMS 7f-Autoは、実績のあるIMS 7f型2次イオン質量分析装置の最新派生バージョンです。本装置は、IMS 7fの特長を維持したまま、簡単に使用でき、かつ処理能力が高く、最高の精度で元素・同位体の分析を可能とするよう設計されました。産業界の要求を充たすべく、各種材料・デバイスの効率的な開発、あるいはプロセスコントロールといった先端的なアプリケーションに最適化されています。

装置の特長

特徴1

新型1次イオンカラム

素早く簡単なビーム調整と長時間の電流安定性を実現しました。1次イオンマスフィルターを除去し、直線上にレンズ、イオン源を配置しています。

特徴2

自動測定ルーティン

1次イオン系、2次イオン系ともにルーティン化されており、簡単に操作でき、オペレータごとの差違を極力なくすよう改善されています。

特徴3

搬送機構とストレージチャンバーのモータ駆動化

一つの試料ホルダーのみならず、ストレージチャンバー内の最大6つまで、チェーンアナリシス(自動分析)の対象となります。これにより、チェーンアナリシス、あるいはリモート分析時のスループットを飛躍的に向上できます。

仕様

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